Tlak vo vnútri pece môže byť extrahovaný do priemyselnej pece pod atmosférickým tlakom. Vákuová pec využíva elektrický ohrev a povrch vyhrievaného obrobku neoxiduje, nedekarbonizuje, menej sa deformuje a má dobré mechanické vlastnosti. Tavenie kovu vo vákuovej peci je výhodné na odstraňovanie nečistôt, čo vedie k menšiemu počtu dier, menšej segregácii a lepšej kvalite hotového výrobku. Vákuová pec je vhodná na tavenie a ohrev kvalitných, vysoko čistých a žiaruvzdorných kovov, ako je volfrám, molybdén, tantal, niób, titán, žiaruvzdorné taviace a magnetické materiály z legovanej ocele, elektrické materiály, vysokopevnostné oceľ, nehrdzavejúca oceľ, nástrojová oceľ, formovacia oceľ atď.
Vákuové pece sa objavili okolo 30. rokov 20. storočia. V roku 1927 Spojené štáty vyrobili vákuovú žíhaciu pec pre elektrické materiály. V roku 1953 bola v priemysle použitá vákuová spotrebná oblúková pec na tavenie titánovej huby. Vákuové indukčné pece boli široko používané v priemysle okolo 50. rokov minulého storočia. V roku 1960 Spojené štáty vyvinuli vákuovú pec na ochladzovanie oleja.
Vákuová pec sa vo všeobecnosti skladá z pece, elektrického vykurovacieho zariadenia, utesneného plášťa pece, vákuového systému, systému napájania a systému regulácie teploty. Utesnený plášť pece je zváraný uhlíkovou oceľou alebo nehrdzavejúcou oceľou a povrch spoja odnímateľných komponentov je utesnený vákuovým tesniacim materiálom. Aby sa zabránilo deformácii plášťa pece a znehodnoteniu tesniaceho materiálu po zahriatí, plášť pece sa všeobecne chladí vodou alebo vzduchom. Pec je umiestnená vo vnútri utesneného plášťa pece. Podľa účelu pece sú vo vnútri pece inštalované rôzne typy vykurovacích prvkov, ako sú odpory, indukčné cievky, elektródy a elektrónové delá. Vákuová pec na tavenie kovov je vybavená téglikmi v peci a niektoré sú vybavené aj automatickými nalievacími zariadeniami a mechanickými ramenami na nakladanie a vykladanie materiálov. Vákuový systém pozostáva hlavne z vákuového čerpadla, vákuového ventilu a vákuového manometra.
Vákuové pece sa podľa vykurovacích prvkov delia na vákuové odporové pece, vákuové indukčné pece, vákuové oblúkové pece, vákuové spotrebné oblúkové pece, pece s elektrónovým lúčom (známe aj ako pece s elektrónovým bombardovaním) a plazmové pece.